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第69章 山巍[01] 13.5nm工艺制程。（第3页）

五月初，鸿芯苦苦支撑，卖掉价值4亿的光刻机，抵押设备和土地，缓解资金困窘，但芯片断供一日?未解决，就是再多?钱填进去也毫无用处。

同?样受芯片断供拖累的公司还有华兴，以及其他诸多?下游产业。

半导体?业界内其他关联公司眼看华兴和鸿芯被美国商务部简单一个芯片出口禁令就狼狈至此，不由产生唇亡齿寒之感，因此私底下悄悄出力，尽量拖延生存时间。

水木大学?的教授研发出光刻机双工作台这?一消息传出，成为业界一剂振奋剂，为萎靡不振的华国半导体?产业注入一点蓬勃的力量。

五月底，蓝河科技实验室内，光源系统进入验收阶段。

与春城光机所合作，由春城光机所入股的国科精密提供的光学?系统（一系列精密镜头、反射镜和透镜等光学?元件系统），在此光学?系统的基础上进行光源系统的实验验收。

盛明安担任该光源系统总工程师，左手旁是程院长，右手是陈惊璆，身?后分别是雷客一行人以及程院长带来?的研发团队。

原本光源系统研发进程没这?么快，但有了程院长的研发团队便如虎添翼，进程迅速缩短一半。

现?在正是光源系统的验收时刻，不是在电脑软件上运行的仿真?建模，而是真?实设备的光源系统实验验收阶段！

雷客紧张的吞咽口水，眼角余光瞥见杜颂这?家伙紧张得手臂打摆！

真?没出息！

他这?么想着，浑然不知道自?己的表现?也好不到哪去。

在场估计没人不紧张，哦，盛明安除外?，任何重大科学?工程验收阶段，他都表现?得非常淡定?，好像一个局外?人，让人即羡慕又?嫉妒。

程院长看了眼右边的电子表，此刻时间是19点42分31秒。

他轻声说?：“开始吧。”

顿了顿，程院长说?：“盛工，你来?吧。”

“唔？”盛明安有点诧异，老实说?程院长无论资历还是辈分都比他高几轮，被长辈喊‘盛工’、谦让，他不太好意思：“您喊我?名字就行。光源系统的研发也有您的一份力，还是您来?。”

程院长摆摆手笑着拒绝：“我?这?辈子扛过不少科学?大工程的验收阶段，不至于跟年轻人抢一个光源系统的实验验收。再说?光源系统主要是你一手策划完成，我?只是个半路杀出的辅助，行了别推辞，再推让下去该下班了。”

行吧。盛明安点点头，示意身?后研发团队各就各位，紧盯前方全套的光源系统设备，沉着冷静的说?：“开始验收。准备——”

“已启动数据记录，光源验收记录，功率消耗记录。”

“靶材装置确定?装载完毕。”

“电源确定?。”

“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”

“……”

接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏，每一句报告简短有力，错落有序，整洁飞快，无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情?。

“启动二氧化碳脉冲激光器！”

话音一落，盛明安按下开关按钮，众人抬头看向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备，一尘不染的银白色设备在冷光下散发出奇妙无机质的机械美。

机械表面很平静，盛明安等人看不到内部正在发生的变化，他们只能通过最终结果判断是否成功，而过程很短暂、很快速，快到频率一秒五万次！

盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化，它切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看实验。

视角先是银白色的机械，瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备，时间和空间被虚化，内部一片黑暗，若鸿蒙未开的混沌宇宙。

突然前方一个闪亮的光点，先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈，圆圈中心一点亮光逐渐向外?扩张，由圆点扩张成椭圆形，光越来?越盛、越来?越亮，猛然爆发出闪亮耀眼的白光，瞬间照亮黑暗的内部，一条细长发亮的紫光倏然蹿出发光口，通过圆形长管，进入光束矫正器，通过能量转换器……

最终击中直径30μm的靶材料（锡液滴）。

视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出现?数以万计的紫色细长光线穿过一个又?一个圆形长管最后以平均两次击中同?一靶材料电离锡原子，释放等离子体?，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。

视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这?号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。

激光经过多?重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体?。