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瓦窑堡电子研发部的实验楼里,灯亮了一整夜。
苏瀚文趴在显微镜前,眼睛瞪得溜圆,面前是一块指甲盖大小的硅片。上面蚀刻着几十个晶体管,线路细得跟头发丝似的。陆哲远站在他旁边,手里拿着一个本子,上面密密麻麻记满了数据。
“这一批的良品率还是上不去。”陆哲远说,“只有百分之三十。”
苏瀚文抬起头,揉揉眼睛:“不是工艺的问题,是材料。硅片的纯度不够,杂质太多,影响晶体管的工作稳定性。”
宋砚堂从隔壁房间走过来,手里端着一杯已经凉了的茶,喝了一口,皱皱眉:“那怎么办?咱们又没有高纯度的提纯设备。”
苏瀚文说:“自己做。林部长说过,没有就造。咱们能造枪造炮,还造不出一台提纯炉?”
提纯炉的设计图是苏瀚文画的,陆哲远和宋砚堂帮着修改。炉子不大,但要求高:温度要稳定在1400度以上,真空度要达到万分之一大气压。瓦窑堡机械厂的老技工看了图纸,挠挠头:“这东西,比造枪管还难。”
苏瀚文说:“难也要造。枪管打的是敌人,这个炉子打的是技术难关。”
老技工带着几个徒弟,干了半个月,把炉子造出来了。第一次试运行,炉子漏气,真空度上不去。第二次,加热丝断了。第三次,温度失控,硅片烧化了。苏瀚文蹲在炉子前面,脸上被热气烤得通红,但他没发火。
“再来。”他说,“第四次,肯定行。”
第四次,炉子正常了。温度稳定在1420度,真空度达标。苏瀚文把一块粗硅片放进去,提纯了几个小时,取出来检测。纯度从百分之九十九点五提升到了百分之九十九点九九。陆哲远看着检测报告,手都有点抖。
“成了。”他说,“这纯度,够用了。”
宋砚堂在旁边泼冷水:“纯度够了,但光刻工艺还得改进。现在的线路太宽,晶体管密度不够。要想提高芯片性能,得把线宽缩小到五微米以下。”
苏瀚文说:“那就改光刻机。原来用的是紫外灯,亮度不够。换一种光源,用汞灯。”
汞灯是宋砚堂负责改装的。他从仓库里翻出一台旧式的汞弧灯,拆了装,装了拆,折腾了一个星期。灯亮了,但亮度不稳定,忽明忽暗的,像鬼火。宋砚堂气得把螺丝刀一扔,蹲在地上抽烟。
陆哲远走过来,捡起螺丝刀,看了看灯,又看了看电路,说:“可能是电压不稳。加个稳压器试试。”
宋砚堂掐灭烟,爬起来,找了一个旧稳压器接上。灯亮了,稳定了,亮度比原来提高了三倍。他拍着灯罩,对苏瀚文喊:“老苏,成了!这玩意儿能用了!”
新光刻机装好了,苏瀚文带着团队开始试制新一代芯片。第一片,线路短路。第二片,开路。第三片,工作了一小时就烧了。苏瀚文把废品排成一排,一个个分析。短路的是光刻胶涂得不匀,开路的是掩模版有缺陷,烧掉的是散热不行。
他们一项一项改进。光刻胶换了新配方,涂得更匀了。掩模版重新做了一块,瑕疵没了。散热加了一块铜片,温度降下来了。
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